痕量級多組分氣體分析儀

概述

痕量級雜質(zhì)氣體比如烴類(lèi)、H₂O、CO、CO₂、NOx、N₂、H2S等會(huì )對高純氦、高純氫、高純氮、其他高純氣體的生產(chǎn)帶來(lái)危害，長(cháng)期存在會(huì )損壞生產(chǎn)設備和影響生產(chǎn)質(zhì)量，甚至對使用高純氣體的裝備帶來(lái)致命威脅。杜克泰克公司的DKF10型痕量級多組分氣體分析儀專(zhuān)門(mén)專(zhuān)業(yè)監測并分析ppm微量級、ppb超微量級雜質(zhì)氣體。

痕量級多組分氣體分析儀

原理

DKF10多氣體分析儀基于紅外光聲光譜技術(shù)，擁有脈沖紅外光源，通過(guò)窄帶光學(xué)濾波片，形成中紅外區10個(gè)光譜波段，用于氣體分析；超高靈敏度基于擁有增強懸臂梁光學(xué)麥克風(fēng)技術(shù)，可通過(guò)10種光學(xué)窄帶濾波片實(shí)現，極窄的光學(xué)濾波可去除背景氣體的干擾；多個(gè)光譜區域可有利于小的交叉靈敏度。對采樣響應結果按照改進(jìn)的經(jīng)典小二乘法進(jìn)行數據校準。

光聲光譜技術(shù)可實(shí)現短光路光程的高靈敏度測量，更進(jìn)一步提高了非線(xiàn)性補償技術(shù)，可實(shí)現寬量程可達5級的線(xiàn)性動(dòng)態(tài)量程比。

氣體：

烴類(lèi)：CH₄、C₂H₆、C₂H₂、C₂H₄等

無(wú)機氣體：CO₂、CO、N₂O、SO₂、NO、NO_2、NH₃、NF₃、SF₆、H₂O等

揮發(fā)性有機物VOCs：丙酮、乙醇、甲醇、苯、甲苯、二甲苯、甲醛等

氟利昂（CFCs）及全氟化碳（PFCs）:CF₄、C₂F₆、R-134a、R13等

腐蝕性氣體：HF、HCL、HCN等

其他氣體：N₂、H₂、O₂、氯氣等（可選、擴展探頭）；

被測氣體可定制；